Capacitive Silicon Resonators Performance Enhancement Methods
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Capacitive Silicon Resonators Performance Enhancement Methods
Recent progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonator will be outlined in this work. Several technological approaches including hermetic packaging based on the LTCC substrate deep reactive ion etching neutral beam etching technology and metal-assisted chemical etching will be discussed.
- 品牌: Taylor & Francis Ltd
- 类别: 科学、 医学与自然
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语言: English
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作者: Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods
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出版日期: 2026-01-26
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页数: 162
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出版社／标签: Taylor & Francis Ltd
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格式: Hardback
- Fruugo ID: 514880576-1050561148
- ISBN: 9780367217761
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