Introduction To Focused Ion Beam Nanometrology
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Introduction To Focused Ion Beam Nanometrology
This Book Describes Modern Focused Ion Beam Microscopes And Techniques And How They Can Be To Aid Materials Metrology And As Tools For The Fabrication Of Devices That In Turn Are In Many Other Aspects Of Fundamental Metrology.
- 品牌: Morgan & Claypool Publishers LLC-IOP
- 类别: 计算机与互联网
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语言: English
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作者: David C. Cox
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出版日期: 2015-10-01
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页数: 84
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出版社／标签: Morgan & Claypool Publishers LLC-IOP
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格式: Hardcover
- Fruugo ID: 557102689-1125371655
- ISBN: 9781643278469
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