Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS

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描述

Microstereolithography and other Fabrication Techniques for 3D MEMS

Focusing on microstereolithography and other microfabrication for 3D MEMS this volume discusses the principles of microstereolithography for fabrication of 3D MEMS devices. It provides an account of the developments in related microfabrication and combined architecture techniques illustrating their application in the engineering field.
  • 品牌: John Wiley & Sons Inc
  • 类别: 科学、 医学与自然
  • 语言: English
  • 作者: Vijay K. Varadan (Pennsylvania State University PA)
  • 出版日期: 2023-03-22
  • 页数: 274
  • 出版社／标签: John Wiley & Sons Inc
  • 格式: Hardback
  • Fruugo ID: 434362362-911569690
  • ISBN: 9780471521853

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