Mikromechanik Einfhrung In Technologie Und Anwendungen

Die Mikromechanik, Die Sich Mit Entwurf, Herstellung Und Anwendung Von Dreidimen Sionalen Mechanischen Strukturen Und Systemen Mit Abmessungen Im Mikrometerbe Reich Befat, Hat In Den Vergangenen Jahren Zunehmend An Bedeutung Gewonnen Und Steht An Der Schwelle Zur Breiten Industriellen Anwendung. Ihr Einsatz Fhrt Zu Quali Tts-und Leistungssteigerungen In Vielen Bereichen Der Modernen Technik. An Stelle Der Konventionellen Fertigungsverfahren Der Feinwerktechnik Nutzt Die Mikro Mechanik Den Technologievorrat Der Mikroelektronik, Vor Allem Das Konzept Der Hoch Genauen Strukturbertragung Mittels Lithographischer Verfahren Und Das Konzept Der Kostengnstigen Fertigung In Batch-prozessen.