Optical Inspection of Microsystems

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Optical Inspection of Microsystems

This book offers a timely review of research into applying optical measurement techniques for microsystems. These techniques are non-invasive and fieldwise in character and have high sensitivity accuracy and resolution of data points. This text presents state-of-the-art methods of optical analysis and enumerates their basic components.
  • Fruugo ID: 506576160-1036514056
  • ISBN: 9780367390570

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