Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing

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描述

Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing

Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers manufacturing capabilities.
  • 品牌: Taylor & Francis Inc
  • 类别: 科学、 医学与自然
  • 语言: English
  • 作者: Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing
  • 出版日期: 2022-01-23
  • 页数: 366
  • 出版社／标签: Taylor & Francis Inc
  • 格式: Hardback
  • Fruugo ID: 506581483-1036520675
  • ISBN: 9780849311789

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