Silicon Micromachining
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Silicon Micromachining
This Comprehensive Book Provides An Overview Of The Key Techniques In The Fabrication Of Micron-scale Structures In Silicon. It Is A Blend Of Detailed Experimental And Theoretical Material, And Will Be Of Great Interest To Graduate Students And Researchers In Electrical Engineering And Materials Science Whose Work Involves The Study Of Micro-electromechanical Systems (mems).
- 品牌: Cambridge University Press
- 类别: 计算机与互联网
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语言: English
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作者: Miko Elwenspoek
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出版日期: 2004-05-22
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页数: 420
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出版社／标签: Cambridge University Press
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格式: Paperback
- Fruugo ID: 556917054-1125150693
- ISBN: 9780521607674
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